Breve descrição da preparação do alvo de nióbio

Breve descrição da preparação do alvo de nióbio

Os alvos de pulverização catódica de liga de molibdênio (10%) e nióbio apresentam amplas perspectivas de aplicação em células solares e monitores de película fina. No entanto, devido à absorção de oxigênio pelo pó de nióbio durante a sinterização, os blanks de molibdênio{3}}nióbio sinterizados têm alto teor de oxigênio e baixa densidade. Este estudo preparou pó de nióbio revestido com carbono de nióbio (NbC) por meio de uma reação química de vapor em atmosfera de CH4.

A camada NbC não apenas impede a absorção de oxigênio, mas também reage com ele para consumir completamente o oxigênio na temperatura desejada. Os efeitos do método de preparação, meio de reação e parâmetros de reação nas propriedades da camada de NbC foram investigados, e as condições ideais do processo foram determinadas: temperatura de 600 graus, tempo de reação de 270 minutos e pressão de 0,04 MPa.

A morfologia da superfície, composição química, distribuição e uniformidade do revestimento foram caracterizadas usando microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia de fotoelétrons de raios X, microscopia eletrônica de sonda, espectroscopia Raman e microscopia de força atômica. Os teores de oxigênio e carbono foram determinados utilizando analisadores de ONH e CS. O pó de nióbio modificado-na superfície foi misturado com pó de molibdênio e sinterizado a vácuo para produzir um lingote de Mo-10%Nb com um teor de oxigênio de 190 ppm, um teor de carbono de 290 ppm e uma densidade relativa de 93%. A qualidade deste lingote foi significativamente superior à dos lingotes preparados com pó de nióbio não modificado.