Os alvos de tungstênio são amplamente utilizados em muitos campos, incluindo principalmente fabricação de semicondutores, dispositivos de fonte de nêutrons de espalação, processos de fotolitografia, tecnologia de deposição de filmes finos, dispositivos de fusão nuclear, etc.
Aplicação na fabricação de semicondutores
Na fabricação de semicondutores, os alvos de tungstênio são usados principalmente em processos de fotolitografia e tecnologia de deposição de filmes finos. A alta densidade, alta dureza e baixa reatividade química dos alvos de tungstênio permitem que eles forneçam controle preciso da gravação durante a gravação a plasma, reduzam a perda desnecessária de material e garantam a finura e a integridade dos padrões do circuito. Na tecnologia de deposição de filmes finos, os alvos de tungstênio são formados em filmes densos por meio de deposição física de vapor (PVD) e deposição química de vapor (CVD). Esses filmes possuem alta dureza e resistência ao desgaste, o que melhora a resistência mecânica e durabilidade dos dispositivos semicondutores. Ao mesmo tempo, a sua alta condutividade e baixa impedância ajudam a melhorar a eficiência da condução de corrente e a reduzir o consumo de energia.
Aplicação em fontes de nêutrons de espalação
Os alvos de tungstênio também desempenham um papel fundamental em dispositivos de fontes de nêutrons de espalação. Fontes de nêutrons de espalação produzem nêutrons bombardeando núcleos atômicos pesados com prótons de alta energia, que são usados para estudar a microestrutura e as propriedades dinâmicas da matéria. O tungstênio tornou-se o material preferido para dispositivos de fusão nuclear e fontes de nêutrons de espalação devido ao seu alto ponto de fusão, alta condutividade térmica e baixa taxa de pulverização catódica. As fontes de nêutrons de espalação podem fornecer um espectro de energia de nêutrons mais amplo, expandindo o escopo da pesquisa científica de nêutrons, especialmente na pesquisa em ciência de materiais. A aplicação de alvos de tungstênio permite estudar materiais de armazenamento de hidrogênio, leis de reação de baterias e desenvolver novos materiais.