Que cuidados devem ser tomados durante a instalação do alvo, conforme explicado por ZhenAn?
A precaução mais importante durante a instalação do alvo é garantir uma boa conexão térmica entre o alvo e a haste de resfriamento da pistola de pulverização catódica.
O empenamento severo da aduela de resfriamento ou da placa de apoio pode fazer com que o alvo rache ou dobre durante a instalação. Isto pode afetar significativamente a condutividade térmica da placa de apoio até o alvo, evitando a dissipação de calor durante a pulverização catódica e, por fim, fazendo com que o alvo rache ou descarrile.
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Para garantir a condutividade térmica adequada, uma camada de papel de grafite pode ser colocada entre a haste de resfriamento do cátodo e o alvo. Inspecione e verifique cuidadosamente o nivelamento da haste de resfriamento da pistola de pulverização catódica e certifique-se de que o anel de vedação esteja sempre no lugar.
Devido à limpeza da água de resfriamento utilizada e à sujeira que pode ser gerada durante a operação do equipamento, que será depositada no tanque de água de resfriamento do cátodo, o tanque de água de resfriamento do cátodo precisa ser inspecionado e limpo durante a instalação do material alvo para garantir a circulação suave da água de resfriamento e que a entrada e a saída não estejam bloqueadas.
Alguns projetos de cátodo possuem uma pequena folga com o ânodo, portanto, ao instalar o material alvo, é necessário garantir que não haja contato entre o cátodo e o ânodo e nenhum condutor, caso contrário ocorrerá um curto-circuito.
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