Introdução básica e classificação de alvos de nióbio
Alvos de nióbiosão alvos com metal niobium como componente principal e são usados principalmente em várias aplicações de destino, como gravação de feixe de íons, deposição de pulverização, implante de íons, etc.
De acordo com a composição, eles podem ser divididos em alvos puros de nióbio, alvos de liga de nióbio e alvos compostos.
Os alvos de nióbio puro são feitos principalmente de metal nióbio e são adequados para aplicações com altos requisitos para a pureza do alvo; Os alvos da liga de nióbio melhoram a resistência à corrosão e a resistência ao choque térmico, adicionando outros elementos metálicos, como tântalo e molibdênio; Os alvos compostos são feitos combinando metal nióbio com outros materiais, como cerâmica e vidro, para obter um melhor desempenho abrangente.
Tabela de parâmetros do produto alvo de niobium
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Composição química
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MATERIAIS NIOBIUM
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Pureza 99,95%
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Elementos
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Especificação real
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Unidades
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Elementos
|
Especificação real
|
Unidades
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Sim
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<5
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ppm
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Oi
|
42
|
ppm
|
|
Ti
|
<5
|
ppm
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W
|
20
|
ppm
|
|
Cr
|
<10
|
ppm
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|
|
|
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Fe
|
10
|
ppm
|
C
|
29
|
ppm
|
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Ni
|
<10
|
ppm
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O
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100
|
ppm
|
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Zr
|
<10
|
ppm
|
N
|
10
|
ppm
|
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MO
|
<10
|
ppm
|
H
|
10
|
ppm
|
Detalhes do produto de destino niobium Detalhes da imagem
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2.
3.
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