Classificação de formas e introdução relacionada de alvos de tântalo
Os alvos de tântalo podem ser divididos em dois tipos de acordo com seus formatos: alvos planos redondos, retangulares e triangulares e alvos rotativos.
Alvos de tântalo podem ser divididos em dois tipos de acordo com o processo de preparação do alvo em branco: alvos de forjamento fundido e alvos formados em pó. O material do alvo restringe as propriedades físicas e mecânicas do filme pulverizado e afeta a qualidade do revestimento.
Os alvos de tântalo devem atender principalmente aos seguintes requisitos: ① Baixo teor de impurezas e alta pureza. A pureza do material alvo afeta diretamente a composição do filme. ② Estrutura interna uniforme. A estrutura interna, como tamanho de grão e textura, afeta a taxa de pulverização catódica e a distribuição da espessura do filme. ③ Composição uniforme e estrutura organizacional. A composição e organização uniformes do alvo são garantias importantes para a qualidade estável do revestimento.
Tabela de parâmetros de especificação de alvos de tântalo
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Nota |
Ta |
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Prazo de entrega |
15-18dias |
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Nome do produto |
Tantalum Target 99,95% 99,99% Metal Tantalum Ta Materiais de revestimento de filme fino PVD |
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Palavra-chave |
Materiais de metal tântalo Ta |
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Forma |
Barra, Grânulos, Circular, retangular, pellet |
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Quantidade mínima |
1 PC |
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Tamanho |
Tamanhos personalizados |
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Pureza |
99.95%-99.99% |
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Certificado |
ISO9001:2015 |
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